GlasTec – Miniaturisierte optofluidische und optoelektronische Technologieplattformen auf der Basis von mikro-strukturierten Gläsern und hybriden Glas-Silizium Substraten
Gefördert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi), AiF-ZIM
Zeitraum: November 2015 – Oktober 2017
Die Plan Optik AG und das Fraunhofer Heinrich-Hertz-Institut entwickeln im Rahmen dieses Projektes miniaturisierte optofluidische Systeme (z.B. Lab-on-Chip) in Glas sowie neuartige optoelektronische Elemente auf der Basis von strukturierten Glas-Siliziumwafern.
Ziel ist es den Grad an Funktionalität und Kompaktheit in mikrostrukturierten Glaschips für unterschiedliche Anwendungen durch die Kombination von verschiedenen Bearbeitungstechniken deutlich zu erhöhen. Die Kompetenzen von Seiten der Plan Optik AG sind die präzise Einbringung von Vertiefungen bis hin zu Mikrokanalstrukturen und die vertikale Integration von Siliziumstrukturen in Glassubstrate, während die Expertise für eine nachträgliche Integration von dreidimensionalen Lichtleiterstrukturen in die Glaschips vom Fraunhofer Heinrich Hertz Institut eingebracht wird.